المكونات السيراميكية لصناعة أشباه الموصلات الأوسع نطاقًا ‬ حلول المواد عالية النقاء للجيل القادم من الإلكترونيات

مع تقدم تصنيع أشباه الموصلات نحو أحجام العقد الأصغر وكثافة طاقة أعلى، تتطلب بيئات العمليات مواد يمكنها تحمل الحرارة الشديدة،ومعايير نظافة صارمة. لدينامكونات السيراميك المتقدمةتم تصميمها خصيصا لتلبية المتطلبات الصارمة لنظام البيئة أشباه الموصلات الأوسع من المعدات المقدمة لتصنيع الألواح ومعالجتها إلى أنظمة التعبئة والتفتيش الخلفية.

المحفظة المادية

نحن نقدم مجموعة شاملة من السيراميك التقني عالي الأداء مصممة لتطبيقات نصف الموصلات المحددة:

• نتريد الألومنيوم ($الين$)التوصيل الحراري الاستثنائي ($170 سيم 230 نص {W/m} cdottext {K} $ويتميز بالعزل الكهربائي الممتاز، وهو مثالي لمنتشري الحرارة، والمحركات الكهربائية، وأقواس التدفئة.

• كربيد السيليكون ($SiC$): صلابة شديدة، وحدة عالية من المرونة، ومقاومة هزة حرارية متفوقة. تستخدم على نطاق واسع في المكونات الميكانيكية الكيميائية (CMP) ، الحلقات الهيكلية،أنابيب الانتشار عالية الحرارة.

• الألومينا عالية النقاء (%الـ2O3جـ 99.8%): قوة كهربائية ممتازة، مقاومة عالية لتآكل البلازما، وأداء فعال من حيث التكلفة لملابس الغرفة، حلقات التركيز، والمعزولات الكهربائية.

• إيتريا ($Y_2O_3$) والزيركونيا المستقرة باليتريا ($YSZ$): مقاومة ممتازة لتآكل بلازما الفلور والكلور القاسية، مما يجعلها المادة المفضلة لمكونات غرفة الحفر البلازما.

المزايا الرئيسية

1المقاومة الفائقة للبلازما والآكل الكيميائي

الاستقرار الكيميائي العالي يضمن الحد الأدنى من التدهور عند التعرض لغازات الحفر والترسب العدوانية$F_2$,$Cl_2$,$NF_3$,$O_2$البلازما) ، مما يقلل بشكل كبير من تلوث جسيمات الغرفة ويمدد فترات استبدال المكونات.

2.استقرار درجة الحرارة العالية والصدمات الحرارية

يحافظ على النزاهة الميكانيكية، والاستقرار الأبعاد، وانخفاض معامل التوسع الحراري في درجات الحرارة التي تتجاوز1000 درجة مئوية، مما يتيح أداء موثوق به في البيئات المعالجة الحرارية السريعة (RTP) و CVD.

3خصائص نظيفة للغاية منخفضة الغازات

تم تصنيعها في ظل ظروف غرفة نظيفة صارمة للقضاء على الشوائب المعدنية والمركبات العضوية المتطايرةضمان التوافق الكامل مع معايير المعالجة عالية الفراغ والنظافة فائقة.

4. التسامحات الدقيقة و التشطيبات السطحية للمرايا

باستخدام طحن الماس متعدد المحاور، والتصنيع بالموجات فوق الصوتية، والتمرير المتقدم، يتم الانتهاء من المكونات إلى التسامحات على مستوى الميكرو ($le pm 0.001 text{mm}$) والخامة السطحية الملمعة بالمرآة ($را لي 0.01 mutext{m}$)

التطبيقات عبر سلسلة قيمة أشباه الموصلات