الصفيحة الكهربائية السيراميكية (ESC) ️ مصراع الأساس الدقيق للبيئات عالية الفراغ والبلازما

المشبك الكهروستاتيكي السيراميكي (ESC) —— تثبيت دقيق للركيزة لبيئات التفريغ العالي والبلازما

في تصنيع أشباه الموصلات المتقدم وترسيب الأغشية الرقيقة، تفشل طرق التثبيت الميكانيكية أو بالتفريغ التقليدية في تلبية متطلبات المعالجة فائقة النظافة، والتفريغ العالي، والتحكم في درجة الحرارة للمعالجة دون النانومتر. مشابكنا الكهروستاتيكية السيراميكية (ESC) تستخدم قوى كهروستاتيكية كولومبية أو جونسن-راهبيك (J-R) لتثبيت الرقائق والركائز بشكل آمن دون تلامس ميكانيكي للحافة، مما يوفر تجانسًا استثنائيًا لدرجة الحرارة، وتسطيحًا للرقاقة، وتقليلًا للجسيمات.الآليات الفنية والأنواعنقوم بتصميم كل من تكوينات المشابك الكهروستاتيكية الأولية المصممة خصيصًا لبيئات المعالجة المحددة:

مشبك سيراميكي كهروستاتيكي من نوع جونسن-راهبيك (J-R)

: مصنع باستخدام تركيبات سيراميكية شبه موصلة (مثل الألومينا المخدرة أو كربيد السيليكون). باستخدام تيارات التسرب الدقيقة عند واجهة الرقاقة-المشبك، تولد مشابك J-R قوى تثبيت كهروستاتيكية هائلة عند جهود تشغيل أقل، مما يجعلها مثالية لعمليات حفر البلازما عالية الكثافة وعمليات PVD/CVD.

• مشبك سيراميكي كهروستاتيكي من النوع الكولومبي: مصنوع من سيراميك عازل عالي النقاء. يعتمد التثبيت بالكامل على تراكم الشحنات الكهروستاتيكية النقية، مما يوفر تثبيتًا مستقرًا عبر نطاقات واسعة لدرجة الحرارة وقدرات فك تثبيت فائقة السرعة للمواد العازلة الحساسة.

• المزايا الرئيسية1. تحكم وتجانس حراري استثنائي

مدمجة مع عناصر تسخين مقاومة متعددة المناطق وقنوات تبريد هيليوم مدمجة، تضمن مشابك ESC السيراميكية لدينا توزيعًا دقيقًا لدرجة حرارة الرقاقة (

$le pm 1^circtext{C}$

عبر رقائق $300 text{mm}$)، وهو أمر بالغ الأهمية للتحكم في الأبعاد الحرجة (CD) في الحفر والترسيب.2. مقاومة عالية للتآكل والبلازمامصممة من سيراميك تقني متقدم مثل

الألومينا عالية النقاء (

$Al_2O_3$) و $F_2$$AlN$)، يقاوم سطح المشبك البلازما الهالوجينية العدوانية ($F_2$, $Cl_2$) والغازات التفاعلية، مما يقلل من توليد الجسيمات في الغرفة ويطيل العمر التشغيلي.3. سطح فائق التسطيح وقمع الجسيماتأنماط الطاولة (الدبوس) المصنعة بدقة على السطح السيراميكي تقلل بشكل كبير من مساحة التلامس بين الجزء الخلفي للرقاقة والمشبك، مما يمنع تلوث الجسيمات من الخلف ويحافظ على تسطيح فائق للرقاقة (

$le 1 mutext{m}$

).4. استجابة سريعة وفك تثبيت موثوقتسمح طبقات العزل المحسنة والتحكم المتقدم في الطاقة بدورات تثبيت وفك تثبيت سريعة، مما يلغي الشحنة الكهروستاتيكية المتبقية ويزيد من إنتاجية الرقاقة.

التطبيقات النموذجية

عملية أشباه الموصلات

وظائف ESC الرئيسية