أخبار الشركة عن عزل غرفة أشباه الموصلات: التغلب على حدود التعقيد مع معالجة السيراميك الخالية من الصبغ

في تصنيع رقائق أشباه الموصلات ، فإن عمليات مثل حفر البلازما ، وتراكم الأفلام الرقيقة (CVD / PVD) ، وزرع الأيونات تضع متطلبات استثنائية على مكونات الغرفة.المهندسون غالبا ما يواجهون معضلة: اختيار السيراميك المتفوقة الأداء التي من المستحيل تقريبًا صناعتها إلى أشكال معقدة ، أو اختيار البلاستيك الذي يمكن صناعته بسهولة مع مقاومة حرارية ضعيفة.ماكور® الزجاج الصناعي السيراميكي، مع طبيعته "خالية من الصمغ" ، يوفر توازنًا مثاليًا للعازلات الهندسية المعقدة في أدوات أشباه الموصلات.

1الهندسة المعقدة: "المنطقة المحظورة" للسيراميك التقليدي

عادة ما تكون الدعامات العازلة وقواعد مصدر الأيونات والدروع داخل غرف أشباه الموصلات تحتوي على العديد من الثقوب المتدلية والثقوب العميقة والهياكل ذات الجدران الرقيقة.

• مخاطر التجفيف: يجب أن تخضع السيراميك الألومينا التقليدية للتجمد في درجة حرارة عالية (أكثر من 1600 درجة مئوية) بعد تشكيل الجسم الأخضر. هذه العملية تؤدي إلى تقلص كبير وتشوه ،مما يجعل من الصعب للغاية الحفاظ على الدقة للميزات الداخلية مثل الخيوط الدقيقة.

• عقبة ما بعد الطحن: لتصحيح تشوهات التخمير ، يلزم طحن الماس لفترة طويلة. بالنسبة للمكونات ذات الشقوق الضيقة أو الفتحات الدقيقة ، غالبًا ما لا تتمكن أدوات الطحن من الوصول إلى الخصائص ،إجبار المهندسين على التنازل عن التصميم.

2. المنطق التقني للصناعة الخالية من الغليان مع ماكور®

تكمن الميزة الأساسية لـ Macor® في حقيقة أن حالتها "كما تم توفيرها" هي حالتها "الأداء النهائي".لا يتطلب إطلاق النار بعد التصنيع، القضاء تماما على خطر تشوه الأبعاد.

• التنقيب الدقيق والحفر: من خلال الاستفادة من هيكل الميكرو الفلوروفلوغوبيت، يمكن للمهندسين تصنيع ثقوب خيوط متسامحة مع H6 مباشرة في Macor®®، وهو إنجاز مستحيل تقريبًا مع السيراميك التقليدية التقنية.

• استقرار الحائط الرقيق: نظرا لقوى القطع المنخفضة وغياب المعالجة الحرارية اللاحقة، ماكور® يمكن أن تدعم هياكل ذات جدران رقيقة0.5 ملمبدون كسر

• الاتساق: يتم الاحتفاظ بمسامح التصنيع بشكل موثوق±0.013 ململضمان تناسب مثالي أثناء تجميع معدات أشباه الموصلات عالية الدقة.

3التحقق من المعلمات الحرجة في بيئات أشباه الموصلات

في بيئات الفراغ العالي والبلازما من معالجة أشباه الموصلات ، يتم دعم موثوقية Macor® بـ بيانات فيزيائية محددة:

• صفر مسامية (0%): الخصائص التي لا تؤدي إلى غازات الحماية من هيدروكربون أو تلوث الرطوبة، وضمان سلامة فراغ عالية النقاء.

• قوة الكهرباء المضادة للكهرباء (45 كيلو فولت/ملم): يمنع القوس الكهربائي تحت الحقول عالية الجهد، حماية الإلكترونيات التشخيصية الحساسة.

• الصمود الحراري: تعمل باستمرار في800 درجة مئويةومقاومة الدورة الحرارية أثناء الحفر أو الترسب دون توليد الجسيمات.

• النقاء الكيميائي: تستند إلى مصفوفة زجاجية بوروسيليكات، و تتميز بمستويات منخفضة للغاية من الشوائب المعدنية، وتلبي معايير غرفة نظيفة.

4دليل الاختيار: متى تختار الحلول الخالية من الغليان؟

بالنسبة لمصنعي OEM للشرائح نصف الموصلة ، فإن Macor® هو الخيار الأفضل على السيراميك التقليدي في السيناريوهات التالية:

• مرحلة التكرار السريع: عندما تكون تصاميم الغرف غير نهائية بعد وتتطلب تعديلات متكررة على أشكال العازل.

• مكونات متكاملة للغاية: عندما يدمج جزء قنوات استشعار معقدة، حلقات تبريد، أو خيوط معقدة.

• المعدات المتخصصة للمجموعات الصغيرة: بالنسبة لمنصات أشباه الموصلات ذات الجودة البحثية التي لا تبرر تكلفة صب حجم كبير، فإن المعالجة الخالية من الغليان تقلل بشكل كبير من تكاليف المشتريات الإجمالية.